讲座题目:集成电路与光刻机
主 讲 人:王向朝 教授
讲座时间:2024年7月18日(周四)下午14:30-15:30时
讲座地点:钱伟长楼201会议室
欢迎有兴趣的师生前来聆听!
理学院
2024年7月17日
讲座内容简介:
光刻机是集成电路制造中最为核心的高端装备, 在 60 余年的发展历程中不断挑战人类超精密制造装备的极限, 推动着摩尔定律的持续向前和信息时代的飞速发展, 对于科技进步、国民经济、国家安全具有极为重要的战略意义。本次讲座会介绍目前最先进的光刻机技术,并展望未来光刻机的发展趋势和未来方向。
主讲人简介:
王向朝,浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室首席科学家,光电科学与工程学院教授;中国科学院上海光学精密机械研究所研究员。曾任国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02专项)总体专家组成员,光刻机工程指挥部专家。作为项目负责人先后承担并完成20余项国家与省部级科研任务。在高端光刻机技术、超高精度光学测量技术等领域取得系列科研成果,多项成果达到国际先进水平,取得重大经济效益。获国际与国内授权发明专利180余项,国内外发表光学与光刻领域学术论文560余篇,出版《光刻机像质检测技术》等学术著作3部,培养博士研究生60余名(含我国高端光刻机整机技术领域第一批博士研究生)。