2019年12月19日,美国普渡大学潘亮副教授受邀来理学院开展学术交流活动,并在钱伟长楼201会议室作了题为“Optical based Direct-Write in Micro/nano-fabrication Processes and Applications”的学术报告,报告由理学院副院长刘诚主持,理学院部分师生参加了本次报告会。
报告中,潘亮副教授首先介绍了在实验室中想要开发新型的纳米和微米尺度的光学加工技术的关键在于分辨率和通量两个方面,此时等离子体纳米光刻是解决问题很好的办法。随后介绍了纳米制造从1959年提出这个理论,到现在16nm光刻尺寸的技术发展过程,同时为我们介绍了技术发展的S曲线。然后,讲述了金属等离子体以渐逝波的形式存在于金属表面,是光场波动和金属内部的自由电子的密度波互相耦合的结果。金属等离子体具有独特的波动性质,可以有效的把光学能量聚焦在纳米尺度,在光学近场实现对衍射极限的突破。强光场在纳米尺度下引发的光子电子声子之间的强烈的非平衡态耦合作用和非局域性的材料反应。还介绍了他们团队对于静电微团的设计。
报告后,潘教授表达了与国内研究学者合作研究的想法,并对报告现场提出的问题进行了详细的讲解与讨论。

潘亮副教授作报告

报告会场

与师生们交流