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南开大学罗锋教授应邀作线上学术报告

作者:文图:刘桂林 审核:陈周  编辑:曹磊   发布日期: 2022-11-01   来源:院科研办  

111日上午,南开大学授罗锋教授应邀在线做了题为“超精密制造与集成电路工艺与装备”的学术报告。报告会由理学院院长陈国庆教授主持。理学院的部分教师与学生通过线上线下多种方式聆听了该报告。

报告会上,罗锋教授结合实践经验和研究成果,从当前半导体产业的研究现状出发,指出当前我国在芯片研发制造领域的难点和痛点,提出针对Sub-7nm以下先进工艺节点中涉及的新材料和新器件,以及相关的失效检测方法,报告重点围绕光刻,刻蚀,沉积等集成电路装备的现状和研发趋势和技术挑战,并对团队的研究成果进行了详细的解析,系统介绍团队在芯片研发领域的相关工作与布局。

报告最后,针对研究生如何开展科研的问题,罗锋教授结合自身的学术经历,分享了自己在国内科研的心得体会,强调了学生的主动性对科研的重要性,提醒研究生勿忘初心,打捞根基,做出成绩。

罗锋教授作报告